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選用麥?zhǔn)险婵沼嫊r應(yīng)該注意以下事項
點(diǎn)擊次數(shù)：801 更新時間：2022-03-09
如果p1和p2之間的壓強(qiáng)差很小時，隔膜的變形也很小，要準(zhǔn)確地測量真空度，需要隔膜更薄?？墒牵绻麅蓚?cè)壓強(qiáng)差很大，則隔膜可能發(fā)生變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強(qiáng)，這種真空計被稱為單電容真空計。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容真空計，進(jìn)一步提高了測量精度和范圍。
隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。
麥?zhǔn)险婵沼嫓y量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。
選用麥?zhǔn)险婵沼嫊r應(yīng)該注意以下事項：
(1)在設(shè)備要求的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，真空計是否有足夠的測量精度;
(2)被測氣體是否會對真空計造成損傷;
(3)真空計是否會對被測真空環(huán)境造成影響;
(4)真空計所測壓強(qiáng)是全壓還是分壓，是否已校準(zhǔn)，是否與氣體種類有關(guān);
(5)真空計能否實現(xiàn)連續(xù)測量，數(shù)值指示及反應(yīng)時間如何;
(6)真空計的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。
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